Atomizasyon inhaleri atomizasyon plakası çoğunlukla sıvı ilacı küçük parçacıklara etkili bir şekilde parçalamak için yüksek frekanslı titreşim kullanan seramik malzemeden yapılmıştır. Parçacık boyutu genellikle 3-10 mikrondur. Her türlü sıvı ilaç için uygundur, stabil, dayanıklı ve değiştirilmesi kolaydır.